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Development of ion-beam sputtered silicon nitride thin films for low-noise mirror coatings of gravitational-wave detectors
A. Amato, M. Bazzan, G. Cagnoli, M. Canepa, M. Coulon, J. Degallaix, N. Demos, M. Evans, F. Fabrizi, G. Favaro, D. Forest, S. Gras, D. Hofman, A. Lemaitre, G. Maggioni, M. Magnozzi, V. Martinez, L. Mereni, C. Michel, V. Milotti,M. Montani, A. Paolone, A. Pereira, F. Piergiovanni, V. Pierro, L. Pinard, I. M. Pinto, E. Placidi, S. Samandari, B. Sassolas,N. Shcheblanov,J. Teillon, I. Vickridge, M. Granata
arxiv（2024）
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Thermal Noise Reduction in Ion-Beam Sputtered Hfo2:Ta2o5 Thin Films Via High-Temperature Treatment
Valeria Milotti,Giulio Favaro,Massimo Granata,Daniele Forest,Christophe Michel,Julien Teillon, Nicole Busdon,Marco Bazzan, Hanna Skliarova, Giacomo Ciani, Carlo Scian, Livia Conti, Shima Samandari, Valentina Venturino, Michele Magnozzi, Maurizio Canepa, Nicholas Demos, Slawomir Gras,Matthew Evans, Valérie Martinez,Gianpietro Cagnoli,Nikita Shcheblanov,Anaël Lemaître
crossref（2024）
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Determination of Compressive Stress in Thin Films Using Micro-Machined Buckled Membranes
C. Malhaire, M. Granata, D. Hofman, A. Amato, V. Martinez, G. Cagnoli, A. Lemaitre,N. Shcheblanov
arxiv（2023）
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Determination of Stress in Thin Films Using Micro-Machined Buckled Membranes
C. Malhaire,M. Granata, D. Hofman,A. Amato, V. Martinez, G. Cagnoli, A. Lemaitre,N. Shcheblanov
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Ano. 4 (2023)
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