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Influence of CoSi Oxidation and Passivation During Silicide Selective Etching on Junction Leakage: Applications to Schottky Diodes Devices
Magali Gregoire, Barbara Guitton, Bastien Dury, Fabien Peyrot, Sophie Dreux, Michael Collonge, Frederic Diette
ECS journal of solid state science and technology (2024)
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Influence of the Annealing Schemes on the Formation and Stability of Ni(Pt)Si Thin Films: Partial, Laser, Total, and One-Step Annealings
Fabriziofranco Morris Anak,Andrea Campos,Magali Gregoire, Adrien Estellon, Marc Lombard, Thomas Guyot,Sophie Guillemin,Dominique Mangelinck
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING (2024)
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Enhanced RF Switch Performance in RFSOI Technology: Achieving 74 Fs RON·COFF and 3.3 V RFVMAX on Thinned SOI
Thomas Bordignon, Luca Lucci, Thibaud Fache,Clément Pribat,Magali Grégoire, Adrien Estellon, Frédéric Monsieur,Nicolas Guitard, Zdenek Chalupa, Pascal Chevalier,Blandine Duriez, Yannick Roelens, François Danneville, Sébastien Crémer
2024 IEEE European Solid-State Electronics Research Conference (ESSERC)pp.448-451, (2024)
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Influence of Si surface preparation on CoSi2 formation and agglomeration
Andréa Newman,Andrea Campos, David Pujol,Pascal Fornara,Magali Gregoire,Dominique Mangelinck
Materials Science in Semiconductor Processing (2023): 107488
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