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Advanced EUV Patterning of 2D TMDs for CMOS Integration
Vina Faramarzi,Etienne de Poortere, Syam Parayil Venugopalan, Pieter Woltgens,Youngtag Woo,Mark van de Kerkhof, Pawan Kumar,Henry Medina Silva,Pierre Morin,Inge Asselberghs,Chelsey Dorow,Kevin O'Brien,Kirby Maxey,Uygar Avci
NOVEL PATTERNING TECHNOLOGIES 2024 (2024)
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Growth of High-Performance Single-Crystalline MoS 2 on Sapphire Substrates Using an Industrial Reactor for Next-Generation Electronics
Henry Medina Silva,Yuanyuan Shi,Benjamin Groven,Sreetama Banerjee,Ankit Nalin Mehta, Iryna Kandybka, Akane Inoue, Joris Verdin, Pawan Kumar,Quentin Smets,Souvik Ghosh,Daire Cott,Stefanie Sergeant, Dries Vranckx, Sebastiaan Nijs, Rudy Verheyen,Tom Schram, Marco Claudio Torres Macario, Raf Rennen, Felix De Groef,Steven Brems,Pierre Morin,Cesar Javier Lockhart de la Rosa,Inge Asselberghs,Gouri Sankar Kar
Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials (2023)
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