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Monolithic Complementary Field Effect Transistors (CFET) Demonstrated Using Middle Dielectric Isolation and Stacked Contacts
Steven Demuynck,Victor Vega-Gonzalez,C. Toledo de Carvalho Cavalcante,L. Petersen Barbosa Lima, K. Stiers, C. Sheng, A. Vandooren, M. Hosseini, X. Zhou,Hans Mertens, Thomas Chiarella,Jürgen Bömmels, Roger Loo, E. Rosseel,Clement Porret, Y. Shimura, A. Akula,G. Mannaert, S. Choudhury,V. Brissonneau, E. Dupuy, T. Sarkar, Nathali Franchina-Vergel, A. Peter, Nicolas Jourdan, J. P. Soulie,Kevin Vandersmissen, F. Sebaai, P. Puttarame Gowda, K. Lai, A. Mingardi, S. Sumar Sarkar, K. D'Have,B. T. Chan, A. Sepulveda Marquez, R. Langer, I. Gyo Koo,E. Altamirano Sanchez, Katia Devriendt, P. Rincon Delgadillo,F. Lazzarino,Jérôme Mitard,J. Geypen,E. Grieten,D. Batuk, Y.-F. Chen, F. Verbeek,F. Holsteyns, S. Subramanian, N. Horiguchi, S. Biesemans
Symposium on VLSI Technologypp.1-2, (2024)
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