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Integration solutions for 90nm BEOL
M Herrick, P Leung, B Wilson, G Nallapati,A Guvenilir, A Nagy,R Carter,D Smith, J Legg,D Rose, B Sheth,L Terpolilli, J Cain,E Demircan,K Junker, H Martinez, D Cochran, S Bolton,S Filipiak,P Justison,M Gall, H Kawasaki, V Sheth, F Huang,B Melnick
ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE 2004 (AMC 2004)pp.89-95, (2004)
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Dual inlaid copper and fluorine-doped TEOS BEOL integration for a high-performance 0.18 mu m technology
M Angyal, A Anandakugan,B Boeck,G Braeckelmann, J Brown,C Capasso,R Carter,R Chowdhury, A Das,D Denning,S Filipiak, P Gilbert,C Goldberg, H Kawasaki,K McGuffin,J Mendonca, A Michel,M Moosa, R Nelson, A Nghiem,C Pettinato,D Rose,D Smith,T Sparks,T Stephens, J Sun,S Thrasher,S Veeraraghavan, H Zawaideh
MATERIALS RESEARCH SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGSpp.91-101, (2001)
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