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Multi-beam mask writer MBM-1000
Hiroshi Matsumoto,H. Inoue, H. Yamashita,Ryosuke Ueba, Kenji Otoshi, H. Yamada,Jin Choi,B. Ahn, Jong-Mun Park,Sanghee Lee,S. Tamamushi,Chan-uk Jeon
Photomask Technology (2021)
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