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(Invited) Activation and Deactivation in Ultra-Highly Doped N-Type Epitaxy for Nmos Applications
Zhiyuan Ye,Miao-Chun Chen, Flora Chang,Chen-Ying Wu, Xuebin Li,Abhishek Dube, Patricia Liu,Saurabh Chopra,Schubert Chu
Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society CD-ROM)no. 24 (2020): 1769-1769
引用3浏览0引用
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HALOGENATED DOPANT PRECURSORS FOR EPITAXY
Abhishek Dube, Yihwan Kim, L I Xuebin
mag（2016）
引用23浏览0引用
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