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MEMS Fabry-Perot Sensor for Accurate High Pressure Measurement Up to 10 MPa
Yuqiang Hu,Lu Cao,Shaoxiong Nie, Qihui Liu,Fei Xie,Xiao Peng, Yaochen Zhu, Jiachen Han,Xin Chen,Lihao Wang, Yichen Liu,Tongyu Liu,Hao Chen,Zhenyu Wu
Optics expressno. 21 (2024): 37059-37072
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Current Sensing Based on Microfabricated Diamond Quantum Magnetometer
Qihui Liu,Hao Chen,Fei Xie,Yuqiang Hu,Nan Wang,Lihao Wang,Yichen Liu,Yang Wang,Zhichao Chen,Lingyun Li,Jiangong Cheng,Zhenyu Wu
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)pp.1445-1448, (2023)
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On-Line Laser Power Measurement Based on Microfabricated Sensor Device
Yuqiang Hu,Fei Xie,Qihui Liu,Nan Wang,Jin Zhang,Yichen Liu,Yongquan Su,Lihao Wang,Hao Chen,Zhenyu Wu
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)pp.1687-1690, (2023)
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