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Takayoshi Kuroiwa,Wai-hong Fung,Yanbei Zhu,Kenji Inagaki,Della Wai-mei Sin, Hei Shing Chu,David Saxby,Jeffrey Merrick, Ian White,Thiago de Oliveira Araújo,Marcelo Dominguez de Almeida,Jairo Lisboa Rodrigues,Lu Yang,Indu Gedara Pihillagawa,Zoltán Mester, Soraya Sandoval Riquelme, Laura Beatriz Pérez, Ramiro Barriga,Claudia Núñez, Jiunn‐Hsing Chao, J Wang, Q Wang, Ni Shi,Hanbing Lu, Ping Song, T Nüykki, T Sara Aho,Guillaume Labarraque, Corinne Oster,Olaf Rienitz, R Jührling, Carsten Pape, Eugenia Lampi,Elias Kakoulides,Rosi Ketrin, E Mardika,Isna Komalasari,Tom Oduor Okumu, J N Kang'iri,Yong Hyeon Yim,Sung Woo Heo,K S Lee,Jung Kee Suh,Young Ran Lim,Judith Velina Lara Manzano,Christian Uribe, Erica Carrasco, E D Tayag, A. R. Dablio, Elyson Keith Ponce Encarnacion, R L Damian,L A Konopelko, А. И. Крылов, S Vadim,R.Y.C. Shin, Shanshan Peng,Juan Wu, Xijun Chang,Fransiska Dewi,Marko Horvat,Tea Zuliani,Sutthinun Taebunpakul,Charun Yafa,Nattikarn Kaewkhomdee,Usana Thiengmanee, H Klich,Süleyman Z. Can,Betül Arı,Oktay Cankur,Heidi Goenaga Infante,Eduardo Ferreira, Rafael Pérez y Pérez,Stephen E. Long,Brittany L. Kassim,Karen E. Murphy,John L. Molloy,Therese A. Butler
Journal of vacuum science & technology B, Microelectronics and nanometer structuresno. 2 (2006)
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