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Effects of Al2O3/SiO2 Double Layer Mask on Nanotrench Etching of GaN by Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching (HEATE)
Shuya Sato, Yuki Takahashi, Tomoaki Momma,Akihiko Kikuchi
Extended Abstracts of the 2024 International Conference on Solid State Devices and Materials (2024)
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Investigation of precipitation conditions of perovskite crystals into widegap semiconductor nanotrench structures
Tomoaki Momma,Akihiko Kikuchi
Extended Abstracts of the 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials (2023)
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The Design of Thermoresponsive Polymeric Particles
Syuuhei KOMATSU,Akihiko KIKUCHI
Journal of the Japan Society of Colour Materialno. 10 (2023): 338-343
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