谷歌浏览器插件
订阅小程序
在清言上使用

In-situ Release Technology for MEMS Sensor Using Carbonate Thermal Decomposition Materials

Cheng Xie,Kaiyue Zhou,Jia Li, Weibing Wang

IEEE Sensors Journal(2024)

引用 0|浏览0
暂无评分
关键词
In-situ release,microheater,MEMS sensor
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树,研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要