脉冲激光沉积技术生长铜材碳基保护膜
Chinese Journal of Materials Research（2023）
摘要
用脉冲激光沉积技术制备三种结构的金属铜材碳基保护膜,分析了失效样品剥离面的微结构.结果表明,在室温条件下生长的碳基复合膜,碳化硅层增强了界面间结合力、避免了类金刚石内应力积累导致的脱落.优化的碳基复合膜牢固地附着在金属铜材上,通过了国军标《光学薄膜通用规范(GJB 2485-95)》中附着力和中度摩擦测试.碳基复合膜使金属铜基材样品表面的纳米硬度比铜基材提高了4倍,增强了铜基材的抗划伤能力.
更多关键词
surface and interface in the materials,carbon-based complex coating,pulsed laser de-position,adhesive property,failure interface diagnosis
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