真空氦漏孔校准方法的研究Liu Beibei,Jiang Houyong,Liu Yi,Zhou YurenChina Instrumentation(2023)引用 0|浏览1暂无评分摘要本文介绍了一种不带氦气源的真空氦漏孔的校准方法,可实现-100~1000kPa压力、(10-10~10-4)Pa.m3/s漏率范围内的真空氦漏孔的校准,扩展不确定度Urel=10%(k=2).适用于真空氦漏孔日常的校准工作.更多AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要