AZO改性Y 2 O 3 -ZnO-Al 2 O 3 热控涂层性能分析

为解决铝合金表面液相等离子体电解氧化（PEO）涂层（Y 2 O 3 -ZnO-Al 2 O 3 ）导电性差而导致的静电效应,对其进行表面改性处理。采用原子层沉积（ALD）技术在铝合金表面PEO涂层原位沉积铝掺杂氧化锌（AZO）导电薄膜以提高PEO涂层的导电性。对AZO改性PEO涂层的相组成和表面微观结构进行分析;对不同沉积温度下所得复合涂层的电阻率、载流子浓度和迁移率,以及沉积前后的热控性能、耐腐蚀性进行测量分析。结果表明:AZO导电薄膜均质连续致密地沉积在PEO涂层表面;当沉积温度为150℃时,AZO@Y 2 O 3 -ZnO-Al 2 O 3 复合涂层的电阻率为1.15×10 -4 Ω·cm,载流子浓度为1.8×10 20 cm -3 ,太阳吸收比为0.409,发射率为0.892,且抗电化学腐蚀性能良好,能够满足航天器热控涂层在空间环境应用的技术要求。