Al2O3(0001)基底MgB2/B/MgB2多层膜的制备及性质

Zhangyu ZHOU,Han XIAO,Song WANG,Xinghua FU,Jiang YAN

Chinese Journal of Low Temperature Physics（2016）

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摘要

本文介绍了应用混合物理化学气相沉积(HPCVD)制备MgB2薄膜技术,以B膜作为势垒层在单晶A12 O3(0001)基底上制作了纵向三明治结构的MgB2/B/MgB2多层膜.采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和标准四线法对获得的MgB2/B/MgB2多层膜断面结构、超导薄膜晶体结构及超导特性进行了测量研究.实验结果表明,制备的MgB2/B/MgB2多层膜结构清晰,底层和顶层超导薄膜显示出良好的超导特性.

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关键词

MgB2/B/MgB2 multilayers,chemical vapor deposition (CVD),hybrid physics-chemistry vapor deposition (HPCVD)

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