用于TOF-SIMS的锆石样品图像自动聚焦算法

Pei-zhi WANG,Di TIAN,Tao LONG,Di-fei LI,Chun-ling QIU,Dun-yi LIU

Journal of Jilin University(Engineering and Technology Edition)（2017）

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摘要

为满足现代二次离子质谱仪(SIMS)锆石样品图像自动聚焦系统对聚焦准确度的要求,提出了一种具有自动消除噪声功能的锆石样品图像自动聚焦算法,并将其应用于飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS).该算法包括锆石图像识别分割法、分段式聚焦算法和调焦控制策略.在聚焦远峰区,采用Roberts算子的聚焦评价函数及差分累加的调焦控制策略进行粗调;在聚焦近峰区,捕捉图像中的锆石目标进行识别分割,采用局部坐标算子的聚焦评价函数与爬山法相结合的调焦控制策略进行聚焦细调.实验结果表明:该算法聚焦准确率达99％,可有效抑制噪声干扰,实现了对锆石样品图像的自动、准确聚焦.

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