SOI高温压力传感器专用集成电路设计

Xin CHENG,Dong-liang CHEN,Ya-lin WU,Lei TIAN,Wen-bing KOU

Journal of Magnetic Materials and Devices（2018）

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摘要

针对压力传感系统高温条件下无法稳定工作、性能下降等问题,设计了一种基于SOI CMOS高温工艺的压力传感器专用集成电路(ASIC),主要由零温度系数恒流源、仪表运算放大器(由恒定跨导运放组成)和零温度系数电压基准组成,具有为压力传感器供电、放大输出信号及调节零点的功能,重点介绍了零温度系数恒流源、仪表运放及组成仪表运放的运算放大器等相关电路.仿真结果表明,-55~225 ℃温度范围内,恒流源温度系数为109 ppm/℃,运算放大器输入MOS管跨导几乎与温度无关,仪表运放输入输出电压成正比且共模抑制比高达125 dB.测试结果显示该压力传感器专用集成电路可在225 ℃下正常工作.

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