硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析
Journal of Transducer Technology(2001)
摘要
通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法;并对失效样品进行了解剖分析,研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理,分析了产品设计、工艺与可靠性的关系,提出了相应的改进措施。
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