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1009 高圧雰囲気対応型CMP装置によるSiCウエハの加工特性 : 酸化剤添加MnO_2スラリーを用いたSiCウエハのC面とSi面それぞれの加工特性(生産加工・工作機械2,設計工学・システム)

周平 黒河,俊郎 土肥,修 大西,洋二 松川,努 山崎,涛 尹

mag（2013）

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关键词
slurry,high pressure
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