激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS（2012）
Abstract
激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的,对表面分析基础理论、仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述.重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展,指出激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能量分布等参数对分辨率的影响,同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径.与传统经典表面分析工具相比较具有扫描面积大、分析速度快及样品导电与否均可分析等优点,成为传统表面分析工具的有力补充.
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Key words
Laser induced-breakdown spectroscopy,Materials science,Surface analysis,Application progress
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