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Crystallization Disruption via Atomic Layer Deposition Substitutional Dopant Scheduling: High-Mobility Amorphous Indium Zinc Tin Oxide

Mark Muir, Jacob E. Kupferberg,Jessica C. Jones,Vepa Rozyyev,David M. Tiede,Jeffrey W. Elam,Alex B. F. Martinson

ACS Applied Optical Materials（2024）

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