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Development of Piezoelectrically Driven Quasi-Static 2D MEMS Mirrors with Extremely Large FoV for Scanning LiDARs

Paul Raschdorf,Jeong-Yeon Hwang,Lena Wysocki, Lianzhi Wen,Jörg Albers, Gunnar Wille, Erdem Yarar,Shanshan Gu-Stoppel

Eurosensors 2023（2024）

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