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Biaxial resonant MEMS mirrors with large field of view for LiDAR systems

Lena Wysocki,Jeong-Yeon Hwang, Patrick Schütt, Paul Raschdorf, Erdem Yarar, Gunnar Wille, Shanshan Gu-Stoppel

MOEMS and Miniaturized Systems XXIII（2024）

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