Plasma Etching of Lithium Niobate on Insulator (LNOI) Wafers

Hoblos Ayman, George L. Lucas, Robert D. Laurent,Suarez Miguel, Salut Roland, Queste Samuel,Belharet Djaffar, Gwenn Ulliac, Baida Fadi, Bernal Maria-Pilar, Courjal Nadège

HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)（2022）

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