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高g測定能力と低Bias不安定性を有する再構成可能高帯域幅CMOS-MEMS容量性加速度計アレイ【JST・京大機械翻訳】

Xiaoliang Li, P J Chung Vincent, G Guney Metin,Mukherjee Tamal, K Fedder Gary,Jeyanandh Paramesh

IEEE Conference Proceedings（2020）

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