光刻用准分子激光器光谱控制中温度分布对输出光谱影响特性分析
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS（2021）
摘要
研究了激光传输过程线宽压窄模块内部热量累积对系统输出光谱的影响.通过理论分析及实验验证,分析了激光光束传输条件下,棱镜温度变化引起的材料折射率分布不均匀,以及不同惰性气体对输出激光光谱长时间稳定性的影响.结果 表明,激光与线宽压窄模块内部元件相互作用,使光学元件温度升高,输出光谱展宽.惰性气体防护系统通过气体流动减小线宽压窄模块内部热量的积累,维持输出光谱的长时间稳定性.模块内部热量的累积对光谱纯度值影响较大,对半峰全宽影响不大.与N2相比,He折射率随温度变化较小,可使输出激光光谱纯度值长时间保持稳定.
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关键词
laser optics, excimer laser, narrow linewidth, thermal effects, inert gas
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