基于双光栅的平行度检测

Guangdian Gongcheng/Opto-Electronic Engineering(2012)

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摘要
为了对大型目标的平行度进行测量,设计并搭建了一套由双衍射光栅组成的平行度检测系统,采用两块衍射光栅正交组成光路,产生多条平行线作为基准线.通过照相机对参考线和待测目标进行拍照,对获得的图像进行处理,利用参考线的平行度偏差对目标所在平面的倾斜进行矫正,得到待测物的平行度测量结果.测量结果表明这种方法简单准确,满足测量精度高.
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关键词
Coordinate transformation,Diffraction gratings,Digital image processing,Parallelism
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